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烤箱
自动化无尘无氧烤箱
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆,使晶圆在无尘无氧的环境下进行烘烤工艺。
自动化无尘无氧烤箱
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆,使晶圆在无尘无氧的环境下进行烘烤工艺。
新型自动化晶圆压力烤箱
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆,去除各种材料(如薄膜)的层压过程中,底部填充或封装等工艺滞留在内的气泡或气体,进而增强粘合强度和可靠性。
晶圆清洗机
晶圆高压清洗机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法清洗工艺,搭配去离子水、高压喷头、二流体或兆声波,有效去除0.5或1um的微粒。
晶圆清洗机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法清洗工艺,搭配去离子水、高压喷头、二流体或兆声波,有效去除0.5或1um的微粒。
晶圆Flux清洗机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法清洗工艺,搭配去离子水、高压喷头、二流体或兆声波,有效去除0.5或1um的微粒。
单片晶圆清洗机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法清洗工艺,搭配去离子水、高压喷头、二流体或兆声波,有效去除0.5或1um的微粒。
单晶圆RCA清洗机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的前端 (FEOL) 晶圆湿法RCA清洗工艺,进行浓缩药液的混酸精确配比成RCA(HF/BOE、SC1、SC2)清洗药液与臭氧水,有效去除0.12um的微粒,包含金属杂质、有机物、微尘、自然氧化物与降低表面粗糙度。
晶圆显影机
单晶圆显影机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM显影工艺,进行光刻胶完成曝光后的显影处理,确保图形精准转移。
单晶圆显影设备
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM显影工艺,进行光刻胶完成曝光后的显影处理,确保图形精准转移。
晶圆蚀刻机
晶圆蚀刻机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM蚀刻工艺,通过化学溶液对晶圆表面进行选择性腐蚀,以实现高精度的微结构成型。
单晶圆蚀刻机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM蚀刻工艺,通过化学溶液对晶圆表面进行选择性腐蚀,以实现高精度的微结构成型。
晶圆蚀刻机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM蚀刻工艺,通过化学溶液对晶圆表面进行选择性腐蚀,以实现高精度的微结构成型。
分片机
晶圆分类机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL)晶圆库,读取晶圆二维条形码进行分选和筛选转移至晶圆盒,以确保晶圆分类的质量和性能符合终端出货要求。
晶圆分类机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL)晶圆库,读取晶圆二维条形码进行分选和筛选转移至晶圆盒,以确保晶圆分类的质量和性能符合终端出货要求。
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此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL)晶圆库,读取晶圆二维条形码进行分选和筛选转移至晶圆盒,以确保晶圆分类的质量和性能符合终端出货要求。
其他
桌上型温度检测仪器
此移动式测温仪器,由「TC Wafer」与「无纸温度记录器」所组成,可广泛应用于洁净的密闭腔体环境,量测温腔体内晶圆实际的受热温度。
手持温度检测仪器
此手持测温仪器,由「TC Wafer」与「无纸温度记录器」所组成,可广泛应用于洁净的密闭腔体环境,量测温腔体内晶圆实际的受热温度。
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