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晶圆蚀刻机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM蚀刻工艺,通过化学溶液对晶圆表面进行选择性腐蚀,以实现高精度的微结构成型。
单晶圆蚀刻机
此系列可广泛应用于先进集成电路制造的后端 (BEOL) 晶圆湿法UBM蚀刻工艺,通过化学溶液对晶圆表面进行选择性腐蚀,以实现高精度的微结构成型。
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